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日本pureron腐蝕性氣體用陶瓷氣體過濾器UCH系列 過濾器的外罩采用哈司特鎳合金®C-22,濾芯采用陶瓷。這些材料,對HBr、HCl等鹵素系反應(yīng)性腐蝕性氣體有很高的耐腐蝕性,極大的發(fā)揮了出色的性能。
日本pureron微少流量超小型陶瓷氣體過濾器SPC系列 SPC系列是超小型(Φ21×84mm)、輕量(90g)設(shè)計(jì)。z適合于安裝在空間狹小的氣瓶柜等裝置的場合。
日本pureron高過濾精度陶瓷氣體過濾器PGFL系列 在保持本公司以往產(chǎn)品PGF系列的高過濾性能的基礎(chǔ)上,實(shí)現(xiàn)了低壓力損失。外形尺寸與以往的PGF系列*相同,處理能力達(dá)到了原來的約兩倍。
日本pureron內(nèi)置式陶瓷氣體過濾器PGF系列 在超微LSI制造工藝中,要求必須將原料氣體以高純度的狀態(tài)輸送到使用點(diǎn)。因此原料氣體的高純度化自不必言說,管道系統(tǒng)的超凈化亦是一大重點(diǎn)。Pureron Japan 為順應(yīng)這一時代的需求,研制出了在元件中使用了陶瓷的全新過濾器,從而實(shí)現(xiàn)了具有長久穩(wěn)定狀態(tài)的0.003μm的高過濾精度。
日本kitz PTFE褶式過濾器Unipore工藝清潔T系列 適用于使用PTFE膜的多種化學(xué)品 由于已用純水沖洗過,因此可以縮短初始啟動時間。