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產(chǎn)品型號(hào): SC-701AT
所屬分類:涂布機(jī)
產(chǎn)品時(shí)間:2024-09-09
簡(jiǎn)要描述:日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701AT排氣→涂層(蝕刻)→全自動(dòng),直到進(jìn)入大氣盡管是緊湊型,但仍可以進(jìn)行膜厚控制(簡(jiǎn)單型)全自動(dòng)濺射設(shè)備,操作簡(jiǎn)便,重現(xiàn)性高
日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701AT
特征
應(yīng)用/結(jié)果示例
日本sanyu electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701AT
基本規(guī)格
陰極 | φ2英寸/ 2極面對(duì)電極 |
濺射靶 | 包含金靶 |
蝕刻目標(biāo) | 包括Al目標(biāo) |
膜厚設(shè)定方法 | 預(yù)設(shè)方法/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示 |
氣體導(dǎo)入機(jī)制 | 針閥 |
真空泵 | 直連式旋轉(zhuǎn)泵:20l / min(帶自動(dòng)泄漏) |
排氣操作 | 自動(dòng)的 |
箱體尺寸 | 內(nèi)徑φ120mm x D120 mm(SUS制) |
樣品交換方法 | 前門開(kāi)合式 |
尺寸(寬/深/高) | 主體:225/420 / 320mm RP:300/160 / 200mm |
重量 | 身體:15公斤 RP:9公斤 |