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日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀

日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀

產(chǎn)品型號(hào): MS-500

所屬分類:氧氣

產(chǎn)品時(shí)間:2024-09-06

簡(jiǎn)要描述:日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀MS-500
多可同時(shí)測(cè)量8個(gè)點(diǎn)
濃度顯示范圍很廣,從ppm到100%。
非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備,真空設(shè)備等上。
傳感器為直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
具有特殊涂層的高度耐用的傳感器,可進(jìn)一步提高耐用性

詳細(xì)說(shuō)明:

日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀MS-500

 

氧氣分析儀MS-500

  • 多可同時(shí)測(cè)量8個(gè)點(diǎn)
  • 濃度顯示范圍很廣,從ppm到100%。
  • 非常適合安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備,真空設(shè)備等上。
  • 傳感器為直接插入型(用于真空16/25/40的NW法蘭)
  • 具有特殊涂層的高度耐用的傳感器,可進(jìn)一步提高耐用性

日本東麗toray半導(dǎo)體,電子元件氧氣分析儀MS-500

MS-500設(shè)備規(guī)格

測(cè)量原理氧化鋯濃縮池類型
形狀分體式(轉(zhuǎn)換器:壁掛式,傳感器:直接插入式)
顯示方式4位數(shù)字顯示(密度顯示)
測(cè)量范圍0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol%O 2 10 -20至10 -0 atm
自動(dòng)量程
重復(fù)性在±0.5%FS 0-1%范圍內(nèi)或更高
±1%FS或±
0.1ppm中,以較大者為準(zhǔn)小于0-1%范圍0-1ppm,atm范圍超出保證的濃度范圍
測(cè)量點(diǎn)數(shù)1?8
樣氣條件壓力10 -3至200 KPa(壓力)
流量0.5至5,000 mL / min或0 mL / min(自發(fā)擴(kuò)散狀態(tài)的測(cè)量)
濕度露點(diǎn)低于環(huán)境溫度
溫度0-100°攝氏度
其他請(qǐng)勿包含腐蝕性氣體(氟氣,氯氣,硫化物氣等),含有機(jī)硅的氣體,可燃成分(包括氣體),油和水。
比較氣大氣層
記錄儀輸出僅變速箱輸出
變速箱輸出RS-232C
報(bào)警輸出沒(méi)有
熱身時(shí)間6分鐘以內(nèi)
尺寸MS-500(控制器)92(W)×44(H)×120(D)(不包括突起)
MS-510(轉(zhuǎn)換器)100(W)×40(H)×88(D)(不包括突起)
傳感器單元SD16NW總長(zhǎng)100mm(感應(yīng)部分Φ11×39,主體部分Φ40×51)
SD25NW總長(zhǎng)100 mm(感應(yīng)部分Φ11×42,主體部分Φ40×48)
SD40NW總長(zhǎng)100mm(感應(yīng)部分Φ11×41,主體部分Φ40×49)
大眾MS-500(控制器)約0.6Kg
MS-510(轉(zhuǎn)換器)約0.5kg
傳感器單元SD16NW約0.2Kg
SD25NW約0.2Kg
SD40NW約0.35Kg
外部連接真空法蘭之一(NW16、25、40)
使用電源24VDC±10%


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