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用于半導(dǎo)體和硅的紅外輻射溫度計(jì) IR-CAT 介紹
IR-CA系列是一款集成的固定式輻射溫度計(jì),配備數(shù)字溫度顯示、參數(shù)設(shè)置功能和測(cè)量值的外部輸出。
共有低溫型、中高溫型、高性能型、超寬型等通用型以及按用途劃分的17個(gè)型號(hào),兼容多種非接觸式測(cè)溫字段。
可測(cè)量400℃至1200℃硅片溫度的輻射溫度計(jì)。采用使晶圓不透明的測(cè)量波長(zhǎng),減少加熱器對(duì)背面的影響
一體化結(jié)構(gòu),內(nèi)置數(shù)字溫度顯示和參數(shù)設(shè)置功能,可通過主機(jī)操作
精度高、響應(yīng)快、可靠性高
可選配通訊接口 RS-485 (MODBUS)
提供設(shè)置顯示,用于 IR-CA 的遠(yuǎn)程監(jiān)控和遠(yuǎn)程設(shè)置。
可通過RS-485通訊進(jìn)行設(shè)置和顯示。
準(zhǔn)備數(shù)據(jù)記錄軟件
可選配保護(hù)殼、水冷板等配件,以適應(yīng)安裝環(huán)境。
模型 | 用于半導(dǎo)體/硅 |
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格式 | 紅外貓 |
檢測(cè)元件 | 硅 |
測(cè)量波長(zhǎng) | 0.6~0.96μm |
測(cè)量溫度范圍 | 400-800℃ (100) 500-1000℃ (200) 600-1200℃ (200) |
準(zhǔn)確率評(píng)估 | 200℃以下:±2℃ 200℃以上:測(cè)量值的±1% |
再現(xiàn)性 | 0.5℃以內(nèi) |
解決 | 0.5℃ |
響應(yīng)時(shí)間 | 0.04秒(95%) |
測(cè)量直徑/測(cè)量距離 | 可移動(dòng)焦點(diǎn) 測(cè)量距離:0.5m 至 ∞ 測(cè)量 直徑 = 測(cè)量距離/距離系數(shù) 距離系數(shù):100、200 |
瞄準(zhǔn) | 直接取景器 |
輸出信號(hào) | 4~20mA DC,隔離輸出(無電阻500Ω以下) |
通訊接口 | RS-485(可選) |
電源 | 24V直流 |
能量消耗 | 最大10VA |
外形尺寸 | 寬150x高110x深66mm |
大量的 | 約1.3公斤 |
其他的 | 數(shù)據(jù)處理軟件:IR-VXC1 |